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      晶體定向儀:
      0415-2155900
      傳真電話:
      0415-2155887
      無損探傷儀:
      0415-2150150
      傳真電話:
      0415-2151390
       
      YX-2H8大晶棒定向儀

        YX-2H8大晶棒定向儀是在標準定向儀基礎上,針對單晶硅、砷化鎵、藍寶石等多種晶體設計.主要用于晶圓片、晶棒的測量,顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道。
        標準配置為GA 、GC、測角儀
        1,一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ8英寸晶圓片;如硅(111)藍寶石C等角度;同時能測晶棒參考面或OF;如硅:(110)藍寶石A面等其它晶體的角度。                                
        2, 另一側GC測角儀能測晶棒端面,測量時可通過改變滾杠寬度達到測量Φ5---Φ8英寸,長500㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)藍寶石C面等其它晶體的角度。同時也能測晶圓片。

      主要參數:

      參 數

      晶圓片直徑

      2—8英寸; 最大11英寸

      晶棒直徑

      5—8英寸 ;最大11英寸

      晶棒長度

      500㎜ ; 最長550㎜

      樣品板面積

      43寬×112高 ㎜

      定向精度

      ±30″

      數顯方式

      θ角:度;分;秒;最小讀數10″

      數字位置

      外置立式

      技術指標

      符合YX-2參數

       

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