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      晶體定向儀:
      0415-2155900
      傳真電話:
      0415-2155887
      無損探傷儀:
      0415-2150150
      傳真電話:
      0415-2151390
       
      YX-7M長晶棒定向儀


        針對客戶測量大直徑、長尺寸硅晶圓片、晶棒而設計,此儀器為雙工作位。

        標準配置如下:GA, GC測角儀。
          1、一側用于測3--8英寸晶圓片111、100面,還可測晶棒參考面(110)等角度。
          2、另一側用于測直徑5----8英寸,長800mm晶棒(111、100)晶面等角度。

        主要參數:

      項 目

      參 數

      晶棒直徑

      5---8英寸、最大11寸

      晶棒長度

      800 mm

      樣品板面積

      43寬×112高mm

      定向精度

      ±30″

      數顯方式

      θ:度;分;秒;最小讀數10″

      顯示器

      外置立式

      技術指標

      符合YX-2參數。

      尺 寸

      1210×810×1420 mm

       
      版權所有:丹東遼東射線儀器有限公司
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